磁性封装微机器人及其制备方法

类别:专利 发布时间:2021-02-23
技术领域:先进制造与自动化 知识产权编码:CN201610973129.X
发布单位:北京市昌平区发明协会
面议 立即申请

产品/服务介绍

一种生物相容性封装的磁性微机器人的制备方法,包括:提供硅片,在硅片上制备Omnicoat牺牲层;在Omnicoat牺牲层上旋涂SU‑8光刻胶形成SU‑8基层;得到第一预制层结构;进行烘烤;进行图形化曝光;在65℃烘烤2分钟,然后在95℃烘烤2分钟;在SU‑8基层上涂覆磁性复合材料,进行烘烤;进行图形化曝光;在65℃烘烤2分钟,然后在95℃烘烤2分钟;进行显影操作,去离子水清洗,风干;涂覆SU‑8光刻胶;进行烘烤;图形化曝光;在65℃烘烤2分钟,然后在95℃烘烤2分钟;进行显影操作,去离子水清洗,风干;得到生物相容性封装的磁性微机器人。上述磁性封装微机器人生物相容性和耐化学性较好。  

交易流程